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Analyse et simulations de résonateurs piézoélectriques pour des applications de filtrage

FAN Ji
Résumé : 

En utilisant la méthode des moindres carrés et à partir d'une analyse unidimensionnelle, nous avons développé une méthode permettant de synthétiser tous les types de résonateurs piézoélectriques. Notre méthode est très rapide et permet d'optimiser les épaisseurs de chaque couche et la surface des résonateurs du filtre très facilement à partir de la fréquence centrale et de la bande passante. De plus notre méthode peut s'appliquer à tous les types de résonateurs et de filtres piézoélectriques. Nous avons réalisé des circuits à XLIM. Nous présentons les technologies de dépôts de films minces et les procédures de gravure de ces couches. Des résonateurs suspendus sont été fabriqués dans notre laboratoire. Une bonne adaptation des fréquences de résonance entre la simulation et la mesure.