Les travaux portent sur l'utilisation des méthodes d'analyses multidimensionnelles et des plans d'expériences. Ces méthodes mathématiques sont ici appliquées à l'optimisation des procédés de dépôts. La réalisation d'une couche par dépôt physique en phase vapeur passe d'une part, par une analyse des résultats expérimentaux et, d'autre part, par une optimisation des essais à effectuer. En ce qui concerne le premier aspect, si un grand nombre de données expérimentales sont connues, les méthodes statistiques telle que l'analyse en composante principale permet d'apporter une aide substantielle à la connaissance des systèmes étudiés. L'objectif est de déterminer les paramètres de dépôt les plus influents sur les propriétés recherchées et de mettre en évidence les interactions qui existent entre ces différents paramètres. En ce qui concerne le deuxième aspect, si aucune expérience n'a encore été réalisée, il est nécessaire deffectuer un criblage des facteurs afin de hiérarchiser le poids de ces facteurs et de quantifier leurs effets sur la réponse recherchée. Ensuite, on peut modéliser le processus de dépôt en utilisant des méthodes (méthode du simplex, méthode des surfaces de réponse) afin d'obtenir une relation entre les réponses recherchées et les différents facteurs influant sur ces réponses. La méthode du simplex est utilisée lorsque l'on souhaite optimiser une réponse liée à plusieurs facteurs. La méthode des surfaces de réponse permet de traiter plusieurs réponses et plusieurs facteurs simultanément.