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Conception, modélisation, fabrication et caractérisation de composants MEMS RF

MERCIER Denis
Résumé : 

Le travail présenté dans ce mémoire concerne les Systèmes Micro-ElectroMécaniques (MEMS) pour les applications RF. Les aspects conception, fabrication caractérisation et modélisation sont traités et illustrés d'exemples expérimentaux. Dans une première partie nous nous sommes intéressés à la modélisation électromagnétique et électromécanique des MEMS RF. Deux méthodes de modélisation électromagnétiques ont été utilisées lors des phases de conception et d'optimisation des caractéristiques électriques (isolation, pertes d'insertion, et coefficient de réflexion) de micro-commutateurs aux hautes fréquences. Ces modèles ont été validés expérimentalement. un modèle électromécanique et une méthodologie de modélisation ont également été développés. Ils sont destinés à la caractérisation simultanée des comportements électriques et mécaniques des dispositifs micromécaniques pour les applications RF et ont été validés par des résultats expérimentaux. La seconde partie de nos travaux porte sur le développement de filtres agiles en fréquence fabriqués à partir de technologies microélectromécaniques. Deux filtres accordables aux longueurs d'ondes millimétriques à base de varactors distribués périodiquement sur une ligne de transmission sont présentés. Ces filtres, indépendamment accordables en bande passante et en fréquence centrale, ont été caractérisés et modélisés.