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Contribution à la caractérisation microonde de matériaux non magnétiques en couche mince par résonateurs microrubans et coaxiaux

REYNET Anthony
Résumé : 

Le travail présenté dans ce mémoire décrit une contribution à la caractérisation non destructive de couches minces. Ces couches minces sont déposées sur des substrats quelconques. Différentes méthodes de dépôts et de caractérisations de matériaux (épais et couches minces) sont présentées dans la première partie. La seconde partie analyse un circuit microruban dédié à létude des couches minces. Ce circuit est constitué de deux résonateurs en l/4. Il est utilisé comme capteur pour déterminer simultanément les propriétés électromagnétiques du matériau et les défauts de contact présents à linterface du capteur et du matériau. Cette première technique a permis de déterminer les valeurs de la permittivité complexes de couches minces dalumine et de BST. La troisième partie présente le développement dune nouvelle technologie utilisant limagerie microonde dédiée à la caractérisation de matériau. Pour cela une première étude bibliographique introduit différents types de microscopes microondes. Ce chapitre se poursuit par létude de ce nouveau capteur compléter par une série de mesures. Puis cette méthode est appliquée à la caractérisation dun substrat de silicium.