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Les résonateurs piézoélectriques dans le domaine des microondes

GIRAUD Sylvain
Résumé : 

Ce travail de thèse traite de l'étude, de la conception et de la réalisation de résonateurs piézoélectriques pour des applications hautes fréquences. La technologie BAW (Bulk Acoustic Wave) utilise la propagation des ondes acoustiques suivant l'épaisseur d'une couche de matériau piézoélectrique et représente une alternative intéressante aux technologies existantes. La modélisation mathématique du comportement physique des résonateurs BAW fait intervenir un système d'équations couplées difficilement soluble sans approximations. Des modèles unidimensionnels, basés sur l'approximation d'une propagation en ondes planes, permettent de résoudre ce problème analytiquement et de synthétiser des réponses en fréquenc complexes. Nous avons ainsi développé un outil lde simulation tridimensionnel basé sur la méthode des éléments finis. Ce logiciel permet de calculer la réponse électrique, de prévoir l'apparition de modes transverses parasites et d'étudier des solutions pour leur suppression.