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Utilisation et développement des méthodes d'analyse de données et des plans d'expériences. Application à l'optimisation des procédés de dépôt.

FIAT Olivier
Résumé : 

Le multisimplexe est une méthode d'optimisation expérimentale permettant la maximisation, par la méthode itérative du simplexe, d'une fonction de désirabilité gloobale constuite à partir des fonctions de désirabilité individuelles associées aux divers objectifs. Dans cette thèse, nous étudions certains aspects de cette optimisation. En amont de cette méthode, un nouveau procédé de détermination des coefficients de pondération des différents objectifs a été obtenu par analyse des surfaces d'égale désirabilité. Le multisimplexe a été utilisé pour l'optimisation du filtrage hyperfréquence d'un résonateur. Une utilisation multiséquentielle du simplexe a été développée sous la forme d'une méthode par campagnes d'expériences. Enfin, en aval de la méthode du multisimplexe, une étude de l'industrialisation d'un procédé à conduit à la réalisation d'une fiche méthodologique de consolidation de la fiabilité du protocole.