La technologie MEMS offre des solutions de plus en plus intéressantes aux applications microondes. Nous introduisons d'abord des composants MEMS RF tels que les micro-commutateurs et les capacités variables, ainsi que leur intégration dans les modules hyperfréquences. Nous présentons un filtre programmable avec des banques de capacités contrôlées par des commutateurs MEMS qui peut atteindre un accord en fréquence (37%), en bande ou encore simultané sur ces deux paramètres. Nous présentons un filtre pour des applications double bande (DCS/WLAN), dans une tête de réception multi-standard. Le principe de reconfiguration est illustré et validé par les résultats de mesures. Enfin, nous présentons une capacité commutée MEMS pour des applications de forte puissance. Les modalités de défaillances en "commutation chaude", ainsi que l'optimisation de la tenue en puissance sont discutées. Les tests de fiablité et puissance maximale sont analysés et démontrent une bonne tenue jusqu'à 10 W.