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Développement d'architectures de filtres à base de résonateurs à ondes acoustiques de volume et contribution à l'intégration dans une technologie avancée Silicium industrielle pour des applications radio fréquences

TILHAC Cyrille
Abstract: 

Le thème principal de ce travail de thèse est l'étude et la réalisation de nouvelles architectures de filtres permettant l'utilisation de résonateurs BAW et l'accord en fréquence de ces derniers. Le premier chapitre présente la technologie BAW et notamment les résonateurs à ondes acoustiques de volume (modélisation électrique, procédé de fabrication et compensation possible). Dans le deuxième chapitre, un état de l'art des différentes topologies de filtre BAW est présenté, suivi par une étude des différentes méthodes de synthèse classiques de filtre dans l'objectif d'élaborer une synthèse de filtre BAW qui deviendra par la suite un filtre BAW accordable en fréquence. Le troisième chapitre présente un premier moyen de réaliser un filtre BAW accordable en fréquence et le quatrième chapitre est consacré à l'optimisation de cette structure ; optimisation en terme de surface et de performances. Enfin, le cinquième chapitre détaille les étapes de réalisation physiques des différentes structures de filtres ainsi que les mesures.