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Etude de composants accordables MEMS RF pour la reconfigurabilité des chaînes d'émission réception des systèmes spatiaux

SIN Philippe
Abstract: 

Les travaux de recherche présentés dans ce manuscrit sont consacrés à la conception et à la réalisation de composants MEMS RF (Systèmes Micro-Electro-Mécaniques RadioFréquence) pour des applications liées aux systèmes de télécommunication spatiaux. De par ses bonnes performances RF, cette technologie suscite un grand intérêt mais possède, à l’heure actuelle, peu d’exemples dans la littérature scientifique. Dans cette optique, nous avons conçuu et réalisé deux capacités variables MEMS RF de manière analogique et digitale, et proposant de bons contrastes capacitifs. L’optimisation d’un adaptateur d’impédance reconfigurable est détaillée. Ce tuner est destiné à fonctionner à 10 GHz et à intégrer des varactors MEMS RF. Un filtre deux pôles agile en fréquence a également été conçu et réalisé. Ce composant intègre des poutres mono-encastrées MEMS RF à profil incurvé qui lui permet de modifier sa fréquence centrale.