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Etude de matériaux ferromagnétiques doux à forte aimantation et à résistivité élevée pour les radio-fréquences. Applications aux inductances spirales planaires su silicium pour réduire la surface occupée

COUDERC Sandrine
Abstract: 

La miniaturisation des circuits RF impose une réduction de la taille des inductances spirales. L'idée d'utiliser des écrans magnétiques pour augmenter la densité d'inductance surfacique est connue mais sa concrétisation bute sur les limites des matériaux de l'état de l'art. Nous avons pour cela développé un matériau doux uniaxial à forte aimantation et à forte résistivité de composition FeHfN(O). A suivi la fabrication des inductances montrant, en particulier, la possibilité de réaliser un caractère bidirectionnel aux éléments magnétiques sur la base d'un dépôt unique, ce qui est particulièrement avantageux. Ensuite, les perspectives à cette réalisation ont été élargies par la simulation à d'autres configurations. Le principe du redimensionnement à inductance et facteur de qualité constants a été validé bien qu'il existe une limitation intrinsèque sur Q avec les spirales dont la cause s'est avérée indépendante du facteur de qualité du matériau lui même.