L'objectif de notre étude est la simulation par une méthode de Monte Carlo des phénomènes physiques intervenant dans la réalisation de couches obtenues par co-évaporation par faisceau d'électrons. Pour cela, nous développons un code de calcul permettant de simuler la répartition en épaisseur et en composition des films élaborés dans une enceinte pouvant posséder trois sources d'évaporation indépendantes. L'énergie des particules évaporées est faible ( 0,2 eV pour les métaux) ce qui nous a permis, dans un premier temps, de faire les hypothèses simplificatrices suivantes : · les particules évaporées ne subissent aucune collision dans l'enceinte, · les particules se condensent immédiatement au contact d'une paroi. Un premier programme a été réalisé en considérant ces hypothèses. Nous avons alors simulé l'évaporation de trois métaux (aluminium, cuivre et titane) d'abord indépendamment puis simultanément. A terme, le programme doit permettre de simuler la réalisation de couches de ferrites. Or, ces dépôts sont obtenus sous atmosphère d'oxygène. Le premier modèle élaboré ne nous permettait pas de prendre en compte les collisions dans l'enceinte. Nous avons alors programmé un nouveau code de calcul qui permet de simuler l'évaporation des trois matériaux choisis sous une pression résiduelle. Parallèlement, une validation expérimentale de nos simulations a été réalisée.